Czystość: czystość celu Molybdenum jest kluczowym wskaźnikiem jego wydajności. Ogólnie rzecz biorąc, czystość celu o dużej czystości Molybdenum może osiągnąć 99,95% lub nawet wyższą.
Gęstość: gęstość zbliżona do gęstości teoretycznej molibdenu (10,22 g\/cm³) jest oznaką wysokiej jakości celu Molybdenum. Większa gęstość wskazuje, że w materiale jest mniej pustek, a struktura jest ścisła, co jest kluczowe dla poprawy żywotności i stabilności materiału docelowego.
Przewodność cieplna: Przewodnictwo cieplne molibdenu wynosi około 138 W\/m · K. Wysoka przewodność cieplna jest bardzo ważna dla kontroli temperatury celu podczas szybkiej powłoki, co pomaga zapobiegać przegrzaniu i uszkodzeniu strukturalnym celu.
Współczynnik rozszerzania termicznego: Molybdenum ma niski współczynnik rozszerzania cieplnego około 4,8 × 10^-6 \/ stopień. Ta funkcja oznacza, że cel molibdenu ma dobrą stabilność wymiarową przy zmianach temperatury, co pomaga utrzymać spójność i dokładność procesu osadzania cienkiego warstwy.
Twardość i siła: Molybdenum ma twardość Vickersa około 2500 godzin i ma wysoką wytrzymałość mechaniczną. Umożliwia to celowi Molybdenum wytrzymanie wstrząsu mechanicznego podczas szybkiej powłoki.
Płaskość powierzchni i chropowatość: płaskość i chropowatość powierzchni są również ważnymi parametrami oceny jakości celów molibdenu. Dobre leczenie powierzchni może zmniejszyć wytwarzanie cząstek podczas korzystania z celu oraz poprawić jednolitość i jakość osadzonej folii.
Wyświetlacz obrazu docelowego docelowego Molybdenum
