80% WTi
1. Utrzymanie celu
Aby uniknąć zwarć i łuków elektrycznych spowodowanych przez nieoczyszczone wnęki podczas procesu rozpylania, konieczne jest okresowe usuwanie rozpylonej materii nagromadzonej w środku i po obu stronach ścieżki rozpylania. Pomaga to również użytkownikom w ciągłej pracy z dużą gęstością mocy. Wykonaj rozpylanie.
2. Przechowywanie docelowe
Zalecamy użytkownikom przechowywanie tarcz (zarówno metalowych, jak i ceramicznych) w opakowaniach próżniowych. W szczególności tarcze laminacyjne muszą być przechowywane w warunkach próżniowych, aby zapobiec utlenianiu warstwy laminacyjnej, co mogłoby wpłynąć na jakość laminowania. Jeśli chodzi o pakowanie tarcz metalowych, zalecamy, aby były one pakowane przynajmniej w czyste plastikowe torby.
Dostawca tarcz do rozpylania wolframu 80%
3. Czyszczenie celu
Pierwszym krokiem jest wyczyszczenie miękką, niestrzępiącą się szmatką nasączoną acetonem;
Drugi krok jest podobny do pierwszego, należy użyć alkoholu do czyszczenia;
Trzecim krokiem jest czyszczenie wodą dejonizowaną. Po czyszczeniu wodą dejonizowaną, tarczę umieszczono w piecu do suszenia w temperaturze 100 stopni Celsjusza na 30 minut. Zaleca się używanie „bezpyłowej ściereczki” do czyszczenia tarcz tlenkowych i ceramicznych.
Czwarty krok polega na przepłukaniu tarczy gazem argonowym pod wysokim ciśnieniem i o niskiej wilgotności, aby usunąć wszelkie zanieczyszczone cząsteczki, które mogą powodować łuk elektryczny w systemie natryskiwania.
4. Kontrola zwarć i uszczelnień
Po zainstalowaniu tarczy należy sprawdzić całą katodę pod kątem zwarcia i uszczelnienia. Zaleca się użycie miernika rezystancji, aby ustalić, czy na katodzie występuje zwarcie. Po potwierdzeniu, że na katodzie nie ma zwarcia, można wykonać kontrolę wycieku wody i przepuścić wodę do katody, aby ustalić, czy występuje wyciek wody.
80% Tungsten Sputtering Target produkcja
5. Opakowanie i transport
Wszystkie cele są pakowane w próżniowo uszczelnione plastikowe torby z czynnikiem chroniącym przed wilgocią. Opakowanie zewnętrzne to zazwyczaj drewniane pudełko z warstwą antykolizyjną wokół niego, aby chronić cel i płytę podkładową przed uszkodzeniem podczas transportu i przechowywania.
