80% cele rozpylania wolframu
Kształt tarczy: płyta, dysk, prostokąt, kwadrat, pierścień, okrągły pręt, dysk schodkowy, prostokąt schodkowy, trójkąt, tarcza rurowa, tarcza zagnieżdżona itp. lub dostosowany do wymagań klienta, może być przetwarzany zgodnie z rysunkami dostarczonymi przez klienta. Możemy również zapewnić klientom usługi wiązania niektórych materiałów tarczowych.
Rozmiar odniesienia: średnica mniejsza lub równa 355,6 mm (14 cali), długość mniejsza lub równa 1000 mm, szerokość mniejsza lub równa 200 mm, grubość mniejsza lub równa 20 mm
Cele rozpylania 80% W
Jakie są procesy rozpylania tarcz?
Proces rozpylania powierzchniowego jest stosowany głównie w dwóch aspektach: trawienia rozpylaniem powierzchniowym i osadzania cienkich warstw.
Podczas osadzania cienkich warstw źródło rozpylania jest umieszczane na celu i bombardowane jonami argonu w celu wytworzenia rozpylania. Jeśli materiał docelowy jest pojedynczą substancją, cienka warstwa materiału docelowego jest formowana na podłożu; jeśli gaz reaktywny jest celowo wprowadzany do komory rozpylania, reaguje chemicznie z rozpylanymi atomami docelowymi i jest osadzany na podłożu. Można utworzyć złożoną warstwę materiału docelowego. Ogólnie rzecz biorąc, warstwy złożone lub stopowe są wytwarzane przez bezpośrednie rozpylanie z tarczą złożoną lub stopową.
80% tarcza rozpylająca z wolframu i tytanu
Podczas trawienia rozpyłowego materiał do wytrawiania umieszczany jest w pozycji docelowej i bombardowany jonami argonu w celu wytrawienia. Szybkość trawienia jest związana z takimi czynnikami, jak wydajność rozpylania materiału docelowego, gęstość prądu jonowego i stopień próżni w komorze rozpyłowej. Podczas trawienia rozpyłowego rozpylone atomy docelowe powinny być usuwane z komory rozpyłowej w jak największym stopniu. Powszechną metodą jest wprowadzenie gazu reaktywnego, reakcja z rozpylonymi atomami docelowymi w celu wytworzenia lotnego gazu, a następnie rozładowanie go z komory rozpyłowej za pomocą układu próżniowego.
